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2024.4.10
田中さんの論文がApplied Physics Letters誌に掲載
田中さんの論文がApplied Physics Lettersに掲載されました。
極端紫外線（EUV）は、皆さんの手元や机の上にある最先端のスマートデバイスの製造において極めて重要な光です。私たちのチームは、このようなデバイスの製造コストを削減することに取り組んでいます。
この論文では、レーザー誘起蛍光法を用いて、水素ガスとEUVの相互作用によって生成される水素ラジカルの絶対密度を明らかにした。この水素ラジカルは、EUVを利用した製造システムの汚染を除去することが期待される。詳細はAIPのウェブサイトをご覧ください。
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